Цитата:от:Drunkster
И еще..Я заинтересовался этим вопросом. На самом деле лидерство на данный момент у Кэнон. Как опытный образец сделали сканер для литографии по технологии 24-нм! (источник: http://www.3dnews.ru/news/asml_canon_i_nikon_budushee_za_euv_litografiei/ ) , так что еще годик и неизвестно на сколько далеко прыгнет кэнон, а на данный момент у никона и кэнона абсолютно одинаковые коммерческие сканеры, я уже постил на эту тему.
)Подробнее
Сам то прочитал, что там написано? И даты посмотри.
"Nikon разработала и смонтировала два тестовых EUV-сканера (alpha tools) для компаний Selete и Intel. "
"..компания Canon Inc., уже отличилась в рамках упомянутой конференции новой моделью EUV-сканера, однако последняя, обладая малым операционным полем (0,2 х 0,6 мм), относится к категории научно-исследовательского оборудования и непригодна для коммерческого использования."